德国ATL公司位于慕尼黑，ATL专注于工业级准分子激光器的研发与制造已有23年的历史，是全球最著名的准分子激光器制造商之一；其生产的各系列准分子激光产品被广泛应用于微纳制造、激光医疗、光谱科学……领域；
ATLEX系列短脉冲准分子激光器使用金属陶瓷腔技术并利用全新的超快预电离技术确保了了设备在长期高稳定性运行的同时提供大能量输出——强化的超快预电离技术（专利）可以在约几纳秒的脉宽条件下产生较大单脉冲能量并加强了所有高压部件的可靠性。固态开关技术保证了长期工作的稳定性，及超长使用寿命。
光束模式——均匀平顶分布，非常适合TOF等领域对于聚焦平面上的获得近似相同的光功率密度；
固态开关，与上一代闸流管技术相比拥有超长使用寿命，及长期使用稳定性；
超长寿命金属陶瓷腔
- 高重复频率(up to 1000Hz) - TMC (全金属陶瓷) 腔体 - 电晕预电离技术 - 固态开关 - 激光头体积 < 3L - 水冷, 外置冷却装置 - 可冲洗的光学支架 - 集成四阀门系统以易于气体处理 - 系统集成RS485, RS232, USB 和 FOC 接口 - 能量稳定模式 - 集成真空泵和卤素过滤器 - 符合欧洲 CE 标准, RoHS 认证
| ATLEX-1000-I LC | ||
| 工作气体 | ArF | KrF |
| 输出波长（nm） | 193 | 248 |
| 高电压转换技术 | 固态开关 | |
| 最大重复频率（Hz） | 1000 | |
| 最高脉冲能量（mJ）1 | 10 | 15 |
| 最大平均功率（W） | 8 | 10 |
| 输出脉冲宽度（ns;typical）2 | 5 – 8 | |
| 输出光束尺寸（mm;V×H）2 | 4 x 6 | |
| 输出光束发散（mard;V×H）2 | 1 x 2 | |
| 输出能量稳定性（Stand. Dev.） | < 3% | |
| 外形尺寸重量（L×W×H） | 540 x 470 x 370mm; 60kg | |
| 冷却 | 风冷/水冷 | |
| 供电要求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 1 Phase | |
所有参数指标为典型值；随技术升级参数可能改变，恕无法及时通知
1.在低重频下测量结果；（在配备能量稳定模式时容许10%的能量衰减）
2.FWHM(激光脉冲半高全宽)的典型值
- 微加工
- 激光烧蚀
- 医学（屈光手术）
- 光谱学
- 度量衡学
