德国ATL公司位于慕尼黑，ATL专注于工业级准分子激光器的研发与制造已有23年的历史，是全球最著名的准分子激光器制造商之一；其生产的各系列准分子激光产品被广泛应用于微纳制造、激光医疗、光谱科学……领域；
ATLEX系列短脉冲准分子激光器使用金属陶瓷腔技术并利用全新的超快预电离技术确保了了设备在长期高稳定性运行的同时提供大能量输出——强化的超快预电离技术（专利）可以在约几纳秒的脉宽条件下产生较大单脉冲能量并加强了所有高压部件的可靠性。固态开关技术保证了长期工作的稳定性，及超长使用寿命。
该系列激光器的主要特点
*超快预电离技术
*激光腔体<3L
*全新技术的金属陶瓷反射腔
*风冷，重复频率高达500Hz
*系统集成RS485,RS232,光纤接口
*能量稳定模式
*欧洲CE标准
*US & EU专利
ATLEX-LR为新一代紧凑型风冷ArF准分子激光器；针对LA-ICP-MS、LIBS（激光又到等离子发射光谱）等应用优化配置；
光束模式——均匀平顶分布，非常适合TOF等领域对于聚焦平面上的获得近似相同的光功率密度；
固态开关，与上一代闸流管技术相比拥有超长使用寿命，及长期使用稳定性；
超长寿命金属陶瓷腔
- 针对LA,LA-ICP-MS,LIBS等光谱学应用特别优化；
- 提供12mJ@193nm，5ns脉冲输出；
- 极快的光学脉冲上升沿，短脉冲；
- 卓越的峰值功率；高能量稳定性
- 先进的金属陶瓷反射腔技术，TMC技术超强耐腐蚀，性能稳定，超长寿命
- 风冷控温，主动（激光器散热）热量管理
- 内部集成的真空泵及卤素过滤器全固态开关技术
- 超快预电离技术
- 便于处理气体的四阀门系统
- 系统集成RS-232，RS-485，USB及光纤接口实现控制
- 通过欧盟CE认证及RoHS无铅认证
工作气体
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ArF
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输出波长(nm)
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193
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高压转换技术
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固态开关
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最高脉冲能量(mJ)1
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12
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最高稳定输出脉冲能量(mJ)
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10
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输出脉冲宽度(ns;typical)2
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5
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输出能量稳定性（Stand. Dev. ）
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2%
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输出光束尺寸（mm;VxH）
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4x6
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输出光束发散（mrad;VxH）
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1x2
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外形尺寸重量（LxWxH）
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54x47x37cm;60kg
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冷却
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风冷
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1.所有参数指标为典型值；随技术升级参数可能改变，恕无法及时通知
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在低重频下测量结果；（在配备能量稳定模式时容许10%的能量衰减）
2.FWHM(激光脉冲半高全宽)的典型值
ATLEX激光器构造紧凑，安全性能高，在医疗（眼科手术）、微电子工业（光纤光栅刻写）、微加工和科研等领域有广泛的应用。
ATLEX-LR型号针对光谱领域优化非常适合如下领域的应用。
关于光谱学领域
4-6ns的短脉冲为研究人员提供了新的有力工具，用于光致电离处理和高精度TOF质谱。极短ATLEX激光脉冲(<4ns)也可被用在不同的分析工具，比如准分子激光器消融系统，与LA-ICP/ICP-MS质谱仪相连。
对于LIBS应用，193nm的高光子能量使其作为LIBS激发光源将使系统获得更高的LIBS信号激发效率。进而提升LIBS探测LOD；
- 精密激光烧蚀（LA）系统
- LA-ICP-MS 激光烧蚀进样等离子质谱技术
- 激光光谱研究，g.LIBS，LIF
- 临床医疗及研究
