IXION-193 SLM is 单频全固态激光系统 是针对紫外光刻领域应用设计的的光学度量参考基准，
用以校准紫外光刻用高功率ArF激光器激光器的步进马达控制光学系统及其发射谱宽。
该激光器的线宽逼近理论傅里叶极限（Fourier limit）。IXION-193 SLM输出的中心波长可以在生产过程中以10pm绝对精度在190~194nm间波长范围内任意选定。
该产品属于半导体泵浦单纵模Q开关固体激光器，提供193nm单频输出。该产品提供<10ns短脉宽及逼近衍射极限（M2<1.6）的光束质量；标准配置提供 脉冲重复频率6kHz。
SLM系列是基础科研的理想选择，其拥有卓越的脉冲能量峰-峰值稳定性< 1%；与此同时其高可靠性设计使其满足工业现场7x24小时运行之需要。
该激光系统提供RS-232界面全计算机控制，并提供各种必要的触发工作模式；
-工业验证的频率转换技术
- 半导体泵浦长使用寿命
- 全密封设计
- 可方便更换的半导体模组仓匣设计
- 卓越的TEM00光束质量
- 脉冲输出波动低(σ<3%，峰峰值)
- 免维护自动“热-电”热平衡管理
- 19"-rack 电源及冷却系统
- 提供LabVIEW drivers
- 集成光谱仪以实现在线输出波长控制 (optional)
model
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IXION-193 SLM
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wavelength
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193.368 nm
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average power
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> 10 mW
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pulse duration
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< 10 ns
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energy per pulse
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1.6 µJ
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repetition rate
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6 kHz
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M²
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< 1.6
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spectral linewidth
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< 120 MHz ⇔0.015 pm ⇔ 0.004cm-1
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spectral tunability
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> 80 GHz ⇔ 10pm ⇔2.6 cm-1
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coherence length
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> 1 m
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- 紫外光刻
- 光谱校准
- 干涉光学
- 作为准分子激光器的种子源
